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序   号

主要配置

nbd-103(a)系统

nbd-103(b)系统

1

机械泵

抽气速率：4l/s

电机功率：400w

极限压强6x10-2pa

抽气速率：6l/s

电机功率：500w

极限压强6x10-2pa

2

分子泵参数

抽气速率：100l/s

极限压强：6x10-6pa

启动时间：＜2min

额定转速：43000转/分

冷却方式:：风冷/水冷

抽气速率：600l/s

极限压强：6x10-6pa

启动时间：＜2min

额定转速：27000转/分

冷却方式:：风冷/水冷

3

分子泵控制电源

电压：200~240v

输出功率：250w

加速时间：3分钟

输出频率：高速704hz±10%

低速430 hz±10%

电压：380~410v

输出功率：400w

加速时间：3分钟

输出频率：高速704hz±10%

低速430 hz±10%

4

复合真空计

工作电电压：

220v  50~60hz

电阻规阻值：约85 欧

自动保护（电离）>10pa

电离规管测量范围：100~1010-5pa

电阻规管测量范围：105 ～10-1 pa

工作电电压：

220v  50~60hz

电阻规阻值：约85 欧

自动保护（电离）>10pa

电离规管测量范围：100~1010-5pa

电阻规管测量范围：

105 ～10-1 pa

5

高真空手动隔断阀

采用氟胶圈密封，快卸法兰接口，漏率达5x10-9 pam3/s

采用氟胶圈密封，快卸法兰接口，

漏率达5x10-9 pam3/s

6

103(b)真空系统连接管路

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1×10-9pa.m3/s

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1×10-9pa.m3/s