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1500℃ cvd系统

发布时间： 2024-04-28 15:56:07 浏览次数：943

设备简介：

化学气相沉积(cvd)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用非常广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的cvd镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。

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	设备特点： 1、采用高纯氧化铝材质炉管，耐腐蚀耐高温性能优越； 2、高纯度al2o3纤维耐火保温材料，保温效果突出，有效地降低了设备功耗； 3、炉体采用双层风冷结构工艺，有助于快速降低壳体表面温度； 4、采用智能pid模糊温度控制，7英寸触摸屏集中操控，可直观显示“时间-温度”曲线；
设备名称	高温cvd系统
t-max	1500℃
电源	单相220v 50hz
额定功率	6kw
测温元件类型	s型热电偶φ8*205mm
tmax	1450℃
加热温度区尺寸	第一个温度区：φ100225mm 第二个温度区：φ100225mm
炉管尺寸	φ100*1200mm
外形尺寸	长1414m×高720mm×深514mm
加热速率	1℃/h-20℃/min
重量	350kg
控制系统				1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正
温度精度	±1℃
加热元件			抗酸耐腐性能优越的高纯硅碳棒
密封系统
	真空度：10pa（机械泵）
压力测量与监控		采用机械压力表，表外壳为气密型结构，能有效保护内部机件免受环境影响和杂物侵入，同时具有较强的耐腐蚀和耐高温的能力。
供气系统		采用浮子流量计控制气体流速，与设备集成为一体，且出厂前已进行漏气测试工作。
净重	350kg
设备使用注意事项	1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2、炉膛连续使用产生的轻微裂纹属于正常现象，不影响设备的正常使用；
galaxy银河官网的服务支持	一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和o形圈，请在下面的相关产品处订购更换件。）

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